5D精密視覺對位機

5支精密視覺即時計算兩個精密光學零件
6DoF精密精密stage即時修正對位誤差
光學級精密點膠功能及膠針導引
點膠品質判斷與補償
對位精度Cpk > 1.33
XYZ:10um
Pitch/Yaw/Roll:+/-0.2°