- 單頭廣角AA設計;可選Collimator或Relay Lens模擬不同對焦距離
- Collimator
- 最大可達210o;AA可達0.8視場約160o。
- 標準五區搭配寶馬chart
- 可客製化九區
- Relay Lens
- 最大可達130o
- Collimator
- 可單板(有載板)或是連板(免載板)全自動化AA作業
- 可選手動上下料模式或切換至全自動上下料(彈夾)模式
- 連板作業優勢
- 超小型或超窄型模組產品於連板作業時結構強度高,連板精度較單板佳,且易於控管
- 連板作業可免除多次探針重複接觸所衍生之風險
- 滿足特定條件時可同時點亮一顆以上之模組,提升UPH
- 可免除分板所需之治夾具成本
- 微塵污染風險低,AA良率高
- 全自動模式UPH可達150以上
- 精密六軸機械平台提供超高AA精度
- AA機台可多台連線,銜接前後自動化工位
- 不鏽鋼外殼,搭配百級無塵室專用過濾設計與排風出口
- 精選無塵等級動力元件,確保CMOS低污染風險
- 採用國際知名品牌零組件,品質有保障,功能穩定
- 日本武藏精密點膠機與高功率UV 冷光源快速固化UV膠
CCM Active Alignment
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